من عمليات تنظيف الرقائق وعمليات الحفر، مع تقلبات كبيرة في درجة الحموضة تتطلب التحييد.

بشكل رئيسي من التآكل الرطب، مع تركيز عالٍ من الفلوريد وسمية عالية، مما يتطلب إزالة فعّالة.

يحتوي على جزيئات سيليكا بحجم نانوي، وإضافات عضوية، وأيونات معدنية، مع تركيز عالٍ من المواد الصلبة العالقة والتعكر.

من عمليات مثل نمو طبقة نيتريد السيليكون، مع تركيز عالٍ من الأمونيا الذي يمكن أن يثبط المعالجة البيولوجية.

من الترسيب الكهربائي والأسلاك، التي تحتوي على النحاس والنيكل وغيرها، وتتطلب جمعًا ومعالجة منفصلين.

من التصوير الضوئي والتقشير، مع COD مرتفع ومواد عضوية ثابتة مثل TMAH وIPA وPGME.